產(chǎn)品應(yīng)用
- 集成電路28-90nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)邏輯、存儲器件- gate，contact，metal，via等工藝應(yīng)用
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 分辨率：65-130nm- 正負(fù)性，高分辨，高對比度，寬工藝窗口
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