產(chǎn)品應(yīng)用- 集成電路28-180nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)邏輯、存儲(chǔ)、功率器件- IMP、AA、gate、contact、poly，metal，via等工藝應(yīng)用產(chǎn)品特點(diǎn)- 分辨率：0.12-0.4um
- 膜厚：0.3-3um
- 正負(fù)性，高深寬比，耐刻蝕，耐離子注入，高感光度
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